30 μm硅基叉指電極高精度高穩(wěn)定性MEMS氣體生物傳感器電容陣列
| 【編號(hào)】BK2021012603 | 【CAS號(hào)】cas | ||
| 【貨號(hào)】BK2021012603 | 【規(guī)格】 | ||
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| 價(jià)格： 登錄查看 | |||
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1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2.線寬:30um，線距:30um，指長(zhǎng): 1.5mm，叉指對(duì)數(shù):20(40指).3．電極襯底為單晶硅，硅片表面生長(zhǎng) SiO2，厚度為300nm;4.金屬層結(jié)構(gòu):Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃～500°℃;
6.主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。7.量大價(jià)格從優(yōu)。
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5.電極使用溫度范圍:-150℃～500°℃;
6.主要用于各類化學(xué),物理及醫(yī)療傳感器，性能可靠，質(zhì)量穩(wěn)定。7.量大價(jià)格從優(yōu)。
我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅)，不同工藝（厚膜工藝，PCB工藝，MEMS 工藝）
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